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blue123

2006-10-20 09:41

304微系统（MEMS）导论 To$Kf
一、考试要求 }mv"8?$
要求考生掌握微机电系统（MEMS，Micro Electro-Mechanical System；或称微光机电系统，MOEMS，美国惯用词；或称微系统，Microsystem，欧洲惯用词；或称微机械，Micro-Machine，日本惯用词）的基本概念与应用原理，并能够灵活应用，具有较强的分析问题和解决问题能力。 F=<c~=S
二、考试内容 "-}H!@${Pz
1、微系统的工作原理 bM;&"~C]*P
2、微系统设计和制造的工程科学 ~\BbjBx.4
3、微系统设计中的工程力学 *+YS)
4、微型化中的尺度效应 h{lDlZFQ(,
5、用于MEMS和微系统的材料 ZoT&
6、微系统加工和微制造基本工艺 t:T[r82$
7、微系统设计 p3G1>Zr
8、微系统封装 3ir&95uS2
三、试卷结构 i G[.s1Ki
1、试时间3小时，满分100分 oV;>lJG79W
2、题目类型：概念题、简答题、计算题、填空题、选择题 ee)]B6g;
四、教材及主要参考书 JD4f4hXM
1、 Nadim Maluf：《An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering》， Artech House，Boston，London，2000 >oy7kd;k?
2、 Tai-Ran Hsu：《MEMS & Microsystems: Design and Manufacture》， McGraw-Hill Companies，2002